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수직식 튜브로 buy in 대구시 on 한국어
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    대한민국, 대구시
    설명
    수직식 튜브로
    개요
    - Verticall Tube Furnace
    - 발열체 : Fibrothal, Superthal
    - 프로세스 튜브 : Quartz

    선택사항
    - 강제냉각시스템
    - (1100℃ ~ 100℃ / 3hr 소요)

    분위기 기스
    - Ar / N2 / O2 / He / Vacuum

    사양
    - Heater temperature : 200℃ ~ 1100℃
    - Furnace tube : 1 - tube (Max 2-tube)
    - Wafer size : 4 inch, 6 inch, 8 inch, 12 inch
    - Loading capacity : 15 ~ 100 pcs
    - Ultimate pressure : 5×10 -3 torr
    - Vacuum pump : Rotary pump (option : Booster or Turbo pump)
    - Heater : Fibrothal, Superthal
    - Process control : Auto process. control
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