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수평식 튜브로 — 수평식 튜브로 구입하기,  가격, 수평식 튜브로 사진, 에스티아이(주). All.biz 대한민국 금속 열처리용 산업 장비
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    구매하기 수평식 튜브로
    설명
    수평식 튜브로
    개요
    - Horizontal Tube Furnace
    - 발열체 : SiC
    - 프로세스 튜브 : Quartz

    분위기 기스
    - Ar / N2 / O2 /He / Vacuum

    용도

    - wafer 열처리, 신소재 산화, 소결, 환원 등.

    사양
    - Heater temperature : 200℃ ~ 1300℃
    - Furnace tube : 1 - tube (Max 3-tube)
    - Wafer size : 4 inch, 6 inch, 8 inch
    - Loading capacity : 15 ~ 100 pcs
    - Ultimate pressure : 5×10 -3 torr
    - Vacuum pump : Rotary pump (option : Booster or Turbo pump)
    - Heater : SiC
    - Process control : Auto process. control
    사진
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